| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|
| Anwendungen der Lasertechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 518906 | ||
| Computergestütztes Optikdesign | Fach-/Modulprüfung | 6 | 515363 | ||
| Vorlesung/Übung | 511850 | Mo 09:00-18:00 Extern (×1) Di 09:00-18:00 Extern (×1) Mi 09:00-18:00 Extern (×1) Do 09:00-18:00 Extern (×1) Fr 09:00-18:00 Extern (×1) | |||
| Grundlagen und Ausführungen optischer Systeme | Fach-/Modulprüfung | 6 | 515322 | ||
| Lasermesstechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 518909 | ||
| Laserstrahlquellen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 519324 | ||
| Fach-/Modulprüfung | 6 | 519323 | |||
| Vorlesung | 510840 | Mi 12:30-14:00 S13 (1385|213) (×15) | |||
| Übung | 511863 | Fr 14:30-16:00 Online-Veranstaltung (×1) Fr 14:30-16:00 S14 (1385|214) (×12) | |||
| Übung | 511040 | Do 08:30-10:00 S01 (1385|201) (×15) | |||
| Mikro-/Nanofertigungstechnik mit Laserstrahlung | Fach-/Modulprüfung | 6 | 518907 | ||
| Vorlesung | 511517 | Fr 12:30-14:00 Extern (×11) | |||
| Übung | 511428 | Di 12:30-14:00 Extern (×9) | |||
| Technologie der extrem ultravioletten Strahlung | Fach-/Modulprüfung | 4 | 517735 | ||
| Technologie der extrem ultravioletten Strahlung | Fach-/Modulprüfung | 6 | 517735 |